Sprache wählen

Die VTI Beschleunigungs-Sensor-Elemente werden in leistungsfähiger Silizium-Bulk-Mikromechanik Technologie gefertigt. Der Mess-Biegebalken hat einen eingebauten mechanischen Überlastschutz und misst über seine Doppelkapazität positive und negative Beschleunigungen. Diese Konstruktion sorgt für ausserordentliche Zuverlässigkeit und unerreichte Genauigkeit, Stabilität und Lebnsdauer.

 

Das Prinzip ist einfach und langzeitstabil. Es beruht auf der Veränderung des Luftspalts zwischen zwei ebenen Flächen. Die Kapazität oder Ladungsspeicherfähigkeit eines Plattenpaares hängt dabei von der Luftspaltbreite und der Plattenfläche ab und kann somit für sehr kleine Messbereiche verwendet werden.

 

Vorteile der VTI MEMS Technologie

  • Gleiche Performanz aller 3 Achsen
  • Sensoren der ADP-Platform (Automotive Digital Platform) für "Safty Critical" Anwendungen geeignet
  • Extrem hohe mechanische Schockfestigkeit (>>20.000g)
  • Keine Parameterdrifts durch mechanischen Schock
  • Kein "Sticking" Problem
  • Komplet kalibrierte Komponente
  • Passive oder aktive Temperaturkompensation
  • Sehr hohe Auflösung
  • Sehr gute Offset- und Sensitivitäts-Stabilität.
  • Umfassende digital aktivierbarer elektrostatischer Selbsttest des Sensorelements und Verbindungen 

Spezifikation

  • 1-, 2- und 3-Achsen Sensoren
  • Arbeitsbereich 0,5 ... 18g
  • Auflösung bis 0.015mg
  • Langzeitstabilität bis 0,5mg
  • Temperaturbereich von -40 ... +125°C
  • Geringes Rauschen <15µg/Sqr(Hz) 
  • Einfache +5V oder 3V Betriebsspannung