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Die VTI Beschleunigungs-Sensor-Elemente werden in leistungsfähiger Silizium-Bulk-Mikromechanik Technologie gefertigt. Der Mess-Biegebalken hat einen eingebauten mechanischen Überlastschutz und misst über seine Doppelkapazität positive und negative Beschleunigungen. Diese Konstruktion sorgt für ausserordentliche Zuverlässigkeit und unerreichte Genauigkeit, Stabilität und Lebnsdauer.

Das Prinzip ist einfach und langzeitstabil. Es beruht auf der Veränderung des Luftspalts zwischen zwei ebenen Flächen. Die Kapazität oder Ladungsspeicherfähigkeit eines Plattenpaares hängt dabei von der Luftspaltbreite und der Plattenfläche ab und kann somit für sehr kleine Messbereiche verwendet werden.

Vorteile der VTI MEMS Technologie

Gleiche Performanz aller 3 Achsen
Sensoren der ADP-Platform (Automotive Digital Platform) für "Safty Critical" Anwendungen geeignet
Extrem hohe mechanische Schockfestigkeit (>>20.000g)
Keine Parameterdrifts durch mechanischen Schock
Kein "Sticking" Problem
Komplet kalibrierte Komponente
Passive oder aktive Temperaturkompensation
Sehr hohe Auflösung
Sehr gute Offset- und Sensitivitäts-Stabilität.
Umfassende digital aktivierbarer elektrostatischer Selbsttest des Sensorelements und Verbindungen

Spezifikation

1-, 2- und 3-Achsen Sensoren
Arbeitsbereich 0,5 ... 18g
Auflösung bis 0.015mg
Langzeitstabilität bis 0,5mg
Temperaturbereich von -40 ... +125°C
Geringes Rauschen <15µg/Sqr(Hz)
Einfache +5V oder 3V Betriebsspannung

3D-MEMS Digitale Beschleunigungs-Sensoren der Automotiv-Digital-Platform
	Digitale 1-, 2- und 3-axis Beschleunigungssensoren (SIL) Messbereiche +/- 2g; +/- 6g Temperaturbereich -40°C ... +125°C Erweiterte Leistungungsstarke Self-Diagnostic Funktionen Excellente Genauigkeit Sehr stabiler über einm weiten Bereich der Temperatur, Feuchte und Vibration AEC Q-100 Qualified

3D-MEMS Digitale Beschleunigungs-Sensoren der Automotiv-Digital-Platform

Digitale 1-, 2- und 3-axis Beschleunigungssensoren (SIL)

Messbereiche +/- 2g; +/- 6g
Temperaturbereich -40°C ... +125°C
Erweiterte Leistungungsstarke Self-Diagnostic Funktionen
Excellente Genauigkeit
Sehr stabiler über einm weiten Bereich der Temperatur, Feuchte und Vibration
AEC Q-100 Qualified

3D-MEMS Digitaler Beschleunigungs-Sensor
	SCA3060 Digital Low Power 3-axis Beschleunigungssensoren Messbereich +/-2g Temperaturbereich -40°C ... +105°C Low Power Mess-Mode 150 μA Total Offset Fehler ±200 mg Binhaltet Effelte über Versorgungsspannung, Temperatur und Lebendauer AEC Q-100 Qualified
	CMA3000 Serie - 3-axis accelerometers (Low Power) im Chip-On-Mems Gehäuse Messbereich ±2g und ±8g elektronisch umgeschaltbar Motion Detector Mode 7μA bei 10 Hz Output Sample Rate Versorgungsspannung 1,7 V - 3.6 V Kleinste Bauform 2 x 2 x 0,95 mm Analoge oder digitale SPI / I²C Schnittstelle Interruptsignalerzeugung durch Data Ready, Motion und Free Fall

3D-MEMS Digitaler Beschleunigungs-Sensor

SCA3060 Digital Low Power 3-axis Beschleunigungssensoren

Messbereich +/-2g
Temperaturbereich -40°C ... +105°C
Low Power Mess-Mode 150 μA
Total Offset Fehler ±200 mg
Binhaltet Effelte über Versorgungsspannung, Temperatur und Lebendauer
AEC Q-100 Qualified

CMA3000 Serie -
3-axis accelerometers (Low Power) im Chip-On-Mems Gehäuse

Messbereich ±2g und ±8g elektronisch umgeschaltbar
Motion Detector Mode 7μA bei 10 Hz Output Sample Rate
Versorgungsspannung 1,7 V - 3.6 V
Kleinste Bauform 2 x 2 x 0,95 mm
Analoge oder digitale SPI / I²C Schnittstelle
Interruptsignalerzeugung durch Data Ready, Motion und Free Fall

3D-MEMS Analoge Beschleunigungs-Sensoren
	Analog 2-axis Accelerometers Messbereich +/- 1,7 g; +/- 4 g und +/- 12 g Temperaturbereich -40 °C ... +125 °C Excellente Zuverlässigkeit und Stabilität über Zeit und Temperatur Hohe Auflösung und Low Noise Überragende Überlast und Schock and shock Beständigkeit > 20.000g AEC Q-100 Qualified
	SCA610 Analoge 1-achsige Beschleunigungssensoren Messbereiche +/- 0,5 g; +/- 1,5 g und 1,7 g Temperaturbereich -40°C ... +125°C Excellente Zuverlässigkeit und Stabilität über Zeit und Temperatur Hohe Auflösung und Low Noise Digital aktivierbarer Elektrostatischer Selbst-Test AEC Q-100 Qualified

3D-MEMS Analoge Beschleunigungs-Sensoren

Analog 2-axis Accelerometers

Messbereich +/- 1,7 g; +/- 4 g und +/- 12 g
Temperaturbereich -40 °C ... +125 °C
Excellente Zuverlässigkeit und Stabilität über Zeit und Temperatur
Hohe Auflösung und Low Noise
Überragende Überlast und Schock and shock Beständigkeit > 20.000g
AEC Q-100 Qualified

SCA610 Analoge 1-achsige Beschleunigungssensoren

Messbereiche +/- 0,5 g; +/- 1,5 g und 1,7 g
Temperaturbereich -40°C ... +125°C
Excellente Zuverlässigkeit und Stabilität über Zeit und Temperatur
Hohe Auflösung und Low Noise
Digital aktivierbarer Elektrostatischer Selbst-Test
AEC Q-100 Qualified

Beschleunigungs- und Schock-Sensor-Switches
	Schock und Beschleunigungs Sensor On / off shock & acceleration sensing Multiple sensitivities: 15 G to 350 G standard Ultra fast response: 100 uS response time Simple interface: No signal conditioning required Ultra low power: As little as 0.25 μA current

Beschleunigungs- und Schock-Sensor-Switches

Schock und Beschleunigungs Sensor

On / off shock & acceleration sensing
Multiple sensitivities: 15 G to 350 G standard
Ultra fast response: 100 uS response time
Simple interface: No signal conditioning required
Ultra low power: As little as 0.25 μA current