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MEMS Neigungssensoren

  

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Die Neigungs-Sensor-Elemente werden in leistungsfähiger Silizium-Bulk-Mikromechanik Technologie gefertigt. Der Mess-Biegebalken hat einen eingebauten mechanischen Überlastschutz und eine mechanische Dämpfung. Über seine Doppelkapazität misst der Sensor die positive und negative Neigung je Achse. Die beschriebene Abhängigkeit der Differentialkapazität folgt einer Sinusfunktion F=m*a=m*g*sina.

 

Aus dieser Konstruktion ergeben sich einzigartig präzise MEMS - Neigungssensoren mit sehr hoher Zuverlässigkeit und einer bisher unerreichten Genauigkeit, die sich durch Stabilität und Lebensdauer auszeichnet.

 

Die Neigungs-Sensoren sind vollständig kalibriert.

 

Vorteile der VTI MEMS Technologie

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Präziseste MEMS Neigungssensoren

  • Gleiche Performanz aller Achsen
  • Hohe Stabilität über Zeit und Temperatur

 

Zuverlässigkeit

  • Extrem hohe mechanische Schockfestigkeit (> 20.000 g) 
  • Mechanisch gedämpftes System
  • Kein "Sticking" Problem
  • Umfassender digital aktivierbarer Selbsttest des Sensorelements und der Verbindungen
  • Keine Parameterdrifts durch mechanischen Schock

 

Einfach anzuwenden

  • Werkseitig kalibrierte 8 und 12 Pin Plastik Dual In-Line SMD Komponenten
  • Keine Kalibrierung
  • Keine Programmierung
  • Interne Temperaturkompensation
  • Internes Temperatursignal über SPI auslesbar
  • Selbstdiagnose und Verbindungsdiagnosefunktion
  • Digital aktivierbarer elektrostatischer Selbsttest des Sensorelements
  • Analoger ratiometrischer Spannungsausgang
  • Parallel dazu digitaler Ausgang (SPI)

Anwendungen

Spezifikation

  • 1- und 2-Achsen Sensoren
  • Arbeitsbereich bis 360°
  • Auflösung besser +/- 0,0004°
  • Langzeitstabilität besser 0,014°
  • Temperaturbereich von -40... +125°C
  • Geringes Rauschen <15µg/Sqr(Hz)  ~ 0,001°
  • Einfache +5V Betriebsspannung

  SCA100T Series - High accuracy 2-axis MEMS Inclinometer  

  • 2-Achsiger Neigungsmesser (X und Y-Achse)
  • Messbereich ±30° (±0,5g) bzw. ±90° (±1g)
  • Empfindlichkeit 4V/g bzw. 2V/g
  • Auflösung von 0.003º bei 10Hz BW (Analoger Ausgang) 

  SCA103T Series - The most accurate MEMS inclinometer in the world  

  • 1-Achsiger Neigungsmesser (X Achse)
  • Messbereich ±15° (±0.26g) bzw. ±30° (±0.5g)
  • Empfindlichkeit 16V/g bzw. 8V/g
  • Auflösung von 0.001º bei 10Hz BW (Analoger Ausgang)

  SCA61T Series - High accuracy 1-axis MEMS inclinometer 

  • 1-Achsiger Neigungsmesser (X-Achse)
  • Messbereich ±30° (±0,5g) bzw. ±90° (±1g)
  • Empfindlichkeit 4V/g bzw. 2V/g
  • Auflösung von 0.003º bei 10Hz BW (Analoger Ausgang)

  SCA830-D07 - The most accurate digital MEMS inclinometer in the world  

  • 1-Achsiger Neigungsmesser (Y-Achse)
  • Messbereich ±90° (±1,0g)
  • Empfindlichkeit typ. 7 arcsec im Messbereich +/- 3°
  • Auflösung von 16 Bit (SPI-Schnittstelle)
 
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